該裝置的工藝流程為：預處理—吸附濃縮—脫附—催化燃燒—催化燃燒—催化燃燒—催化燃燒（shāo）。在催化淨化器（qì）中設置（zhì）了（le）加熱室，啟（qǐ）動加熱裝置，進入內部循環。當熱氣（qì）源達（dá）到有機物90-110度時，有機（jī）物（wù）就會從活性炭中揮發出來，進入催化室進行催化分解，形成水、二氧化碳，並釋放能量。當能量被（bèi）再次進入吸附床脫附時，此時加（jiā）熱器完全（quán）停止工作，有（yǒu）機廢氣在催化燃燒室（shì）中保（bǎo）持自燃，尾氣再生（shēng），循環使用，直（zhí）至有機物完全從活性炭內部分離，到催化室分解。對活性碳進行再生，對有機物進行分解處理。廢氣處理裝置可根據廢氣排放量、風（fēng）速、廢氣濃度等靈活配（pèi）置，廢氣（qì）處理和淨化效率（lǜ）高，安裝維修（xiū）簡便。

用活性碳催（cuī）化（huà）燃燒設備（bèi）脫附，啟動催化燃燒裝置（zhì）預熱室電源，預熱空氣，預加熱過的氣體通過混合箱內並進入吸附盒，加熱箱內活性炭（tàn）所吸附的溶劑即會揮發，通過風機將溶劑引入催化燃燒室燃燒，形成諸如CO2和H2O蒸氣的熱（rè）風；熱風一部分返回到活性炭吸附盒中繼續加熱活性炭，另一部分（fèn）熱風則排空，活性炭在熱空氣（qì）內（nèi）循環多次。